DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER 

Close Coupled Showerhead® CCS Anlagen           für F&E

"Flexible MOCVD-Anlagen für F&E und Kleinserienfertigung"

Vorteile

  • Vielseitige F&E-Anlage mit integrierter Glovebox
    • Skalierbar von F&E bis Massenproduktion
    • Gleichmäßiges und reproduzierbares Wachstum für alle Materialsysteme
    • Hohe Flexibilität im Prozessfenster für exzellente Materialqualität und Gleichmäßigkeit
  • Ideal für kleine F&E-Budgets durch geringe laufende Kosten
    • Geringer Gasfluss und hohe Vorlaufeffizienz
    • Leichte und kostengünstige Wartung

Produkteigenschaften

  • Hohe Flexibilität für verschiedene MO- und Hydridquellen
  • Digitale Massendurchfluss- und Druckregler
  • Professionelles AIXACT® Advanced Control System mit HTML-basierter GUI
  • Kompakte Standfläche

CCS

  • Bewährte Close Coupled Showerhead®-Prozesskammer mit 3-Zonen-Heizer 
  • Dynamische Prozessspaltanpassung - effektives Prozess-Tuning für mehr Leistung
  • 1400 °C Oberflächentemperatur-Option
  • In-situ-Monitoring mit Laytec EpiTT, EpiCurveTT und weiteren auf Anfrage
  • Vollständige Abbildung der Wafer-Temperatur mit AIXTRON ARGUS 
  • AIXTRON Epison-Gaskonzentrationssensoren
  • Konfigurationen  (durch einfachen Trägeraustausch)
    • 3x2-Zoll, 1x3-Zoll, 1x4-Zoll
    • 6x2 Zoll, 7x2-Zoll, 3x3 Zoll, 1x4-Zoll, 1x6 Zoll
    • 19x2-Zoll, 7x3-Zoll, 5x4-Zoll, 1x6-Zoll, 1x8-Zoll

CCS-Anlagen für F&E

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Dr. Andrew Pakes

Senior Produkt Manager

Tel: +44 1954 208 465

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Taiwan/Singapore

Tel: +886 3 571 2678 ext. 101

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USA

Tel: +1 669-228 ext. 3893

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Japan

Tel: +81 3-5781-0935 ext. 510

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Service

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