AIX G5 WW C: Depositionsanlage für Verbindungshalbleiter :: AIXTRON

DEPOSITIONSANLAGE FÜR VERBINDUNGSHALBLEITER

AIX G5 WW C

“Höchstleistung für die SiC-Leistungselektronik der Zukunft ebnet den Weg für Megatrends“

Multiwafer-Verarbeitung mit hohem Durchsatz bei gleichzeitiger Kontrolle der Einzelwafer - eine Kombination aus dem Besten beider Welten.

Vorteile

Bester Durchsatz und niedrigste Betriebskosten pro Wafer
Leistungsfähigkeit eines Einzelwafers in einer Multi-Wafer-Konfiguration für exzellente Qualität der Epitaxieschichten
Unterstützung des Marktaufbaus für SiC-Leistungselektronik dank kompatibler Automation für bestehende Silizium-Produktionslinien

Produkteigenschaften

Planetenreaktor mit Wafer-Transfer unter hohen Temperaturen
Effiziente Gasnutzung in der Produktionskammer
Temperaturkontrolle auf Wafer-Ebene
Verarbeitung der Wafer im Kassettenbetrieb ("Cassette-to-cassette", C2C)
Schnelle Epitaxie-Prozesse
8x150 mm-Konfiguration mit Einzelwafer-Rotation
AutoSat für Steuerung der inneren Wafer-Homogenität
Werksseitige SECS-GEM-Schnittstelle

AIX G5 WW C - Anlage mit automatisiertem Wafer-Transfermodul

Broschüre

DOWNLOAD BROSCHÜRE

Ihr Ansprechpartner

Marketing

Vincent Meric

Vice President Marketing

Tel: +49 (0) 2407 9030-9022

E-Mail senden

Zurück zur Produktübersicht

Sales

Alan Tai
Taiwan/Singapore

Tel: +886 3 571 2678 ext. 101

Christof Sommerhalter
USA

Tel: +1 669-228 ext. 3893

Christian Geng
Europe

Tel: +49 (2407) 9030 -135

Hisatoshi Hagiwara
Japan

Tel: +81 3-5781-0935 ext. 510

Nam Kyu Lee
South Korea

Tel: +82 31 371 ext. 3011

Wei (William) Song
China

Tel: +86 2164453226 ext. 101

Service

AIXTRON SE (Headquarters)

Tel: +49 (2407) 9030-0

AIXTRON 24/7 Technical Support Line

Tel: +49 (2407) 9030-999

AIXTRON Europe

Tel: +49 (2407) 9030-9037

AIXTRON Ltd (UK)

Tel: +44 (1223) 519-444

AIXTRON K.K. (Japan)

Tel: +81 3 5781 0931

AIXTRON Korea Co., Ltd.

Tel: +82 (31) 371-3000

AIXTRON Taiwan Co., Ltd. (Main Office)

Tel: +886 3 571 2678

AIXTRON Inc. (USA)

Tel: +1 (669) 228-3759

Produkte

Vincent Meric
Vice President Marketing

Tel: +49 (0) 2407 9030-9022

Karriere

Tom Lankes
Talent Acquisition Expert - Ausbildungsleitung

Tel: +49 (2407) 9030 0

Nachhaltigkeit

Christoph Pütz
Senior Manager ESG & Sustainability

Tel: +49 (0) 2407 9030-5968

Investor Relations

Christian Ludwig
Vice President Investor Relations & Corporate Communications

Tel: +49 (2407) 9030-444

Ralf Penner
Senior IR Manager

Tel: +49 (2407) 9030-6153

Forschung & Entwicklung

Prof. Dr. Michael Heuken
Vice President Advanced Technologies

Tel: +49 (2407) 9030-335

Presse & Öffentlichkeitsarbeit

Christian Ludwig
Vice President Investor Relations & Corporate Communications

Tel: +49 (2407) 9030-444

Ersatzteile

Service/Kundendienst