IQE erweitert Produktion von 6-Zoll-Wafern für VCSEL mit mehreren AIX 2800G4-TM Anlagen von AIXTRON

AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, hat von IQE plc (UK), einem international tätigen Lieferanten fortschrittlicher Wafer-Produkte und Wafer-Dienstleistungen für die Halbleiterindustrie, eine Bestellung über mehrere MOCVD-Anlagen erhalten. Die vollautomatisierten Planetenanlagen vom Typ AIX 2800G4-TM sollen für die Herstellung von Galliumarsenid-basierten (GaAs) Epi-Wafern auf 6-Zoll-Substraten zur Produktion von VCSEL (vertical-cavity surface-emitting laser) eingesetzt werden, die in zahlreichen Photonik-Anwendungen benötigt werden.

Alle Systeme verfügen über eine 8x6-Zoll-Konfiguration und werden die bereits von IQE in der Produktion genutzten AIX 2800G4-TM Anlagen ergänzen, um die schnell wachsende Marktnachfrage nach VCSEL-Bauelementen zu befriedigen. Die neuen Produktionssysteme werden von einem lokalen AIXTRON Support-Team bis zum ersten Quartal 2018 in einer neuen, modernen Fertigungsstätte in Betrieb genommen. Diese wurde erst kürzlich im Rahmen der Programme der Hauptstadtregion Cardiff gepachtet, die darauf abzielen, die Entwicklung des Clusters für Verbindungshalbleiter („CS connected“) in Südwales zu unterstützen.

Dr. Howard Williams, Chief Operating Officer von IQE, sagt: „Wir haben die AIX 2800G4-TM für unsere Kapazitätserweiterung gewählt, weil wir mit diesem Anlagentyp bereits in der Vergangenheit hervorragende Ergebnisse erzielt haben. Als bewährte Plattform für die Massenproduktion im Bereich der Photonik-Anwendungen ermöglicht sie hervorragende Epitaxie-Qualität und Ausbeute auf 6-Zoll-Wafern und bietet gleichzeitig die Flexibilität, die wir als Produzent von Halbleitermaterialien („Epi Foundry“) zur Erfüllung der Anforderungen unserer Kunden benötigen. Darüber hinaus bietet die AIX 2800G4-TM außerordentliche Homogenität und Reproduzierbarkeit. Auch die Unterstützung durch das lokale AIXTRON Support-Team wird uns helfen, die Anlagen schnell hochzufahren und unsere Kunden in der derzeitigen, dynamischen Marktsituation zeitnah zu bedienen.“

Dr. Frank Schulte, Vice President AIXTRON Europa, ergänzt: „Wir arbeiten seit mehr als 20 Jahren mit IQE zusammen und freuen uns darauf, durch bestmögliche Unterstützung des geplanten Produktionsausbaues zum weiteren Erfolg des Unternehmens beizutragen. Die AIX 2800G4-TM Anlage, die auch 5x8-Zoll-Wafer verarbeiten kann, hat sich in der Industrie einen hervorragenden Ruf erworben, insbesondere dank ihrer einzigartigen Materialverarbeitungseigenschaften und ohne auf die Größenvorteile des AIXTRON Planetary Batch-Konzepts zu verzichten.“

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