NTT Photonics: Laserforschung mit AIXTRON MOCVD-Technologie

Ein AIXTRON Serviceteam wird die Anlage im ersten Quartal 2012 ausliefern und im Labor für photonische Bauelemente in Atsugi  (Präfektur Kanagawa), Japan, installieren.

Das Design der AIXTRON CCS-Anlage gilt als modernster Stand der Technik, der weltweit neue Maßstäbe in Laboren und in der Herstellung gesetzt hat. NTT Photonics erhält mit der Anlage zahlreiche Zusatzfunktionalitäten wie EpiCurveTT, ARGUS, einstellbare Reaktorhöhe sowie den Epison 4-Gaskonzentrationssensor.

Auch die hohe Effizienz des CCS-Reaktors bei der Zerlegung der Gruppe-V-Ausgangstoffe hat maßgeblich zu der Entscheidung des Kunden für die AIXTRON Anlage geführt, da sich auf diese Weise die Betriebskosten deutlich senken lassen.

Überdies ermöglichen das Showerheadkonzept und die gleichmäßige Strömungsverteilung der CCS-Anlage äußerst flexible Prozesse und machen die Anlage zum idealen System für anspruchsvollste MOCVD-Anwendungen. Durch die Kombination von einstellbarer Reaktorhöhe und ARGUS In-situ-Pyrometer zur Temperaturmessung der gesamten Suszeptoroberfläche kann die Anlage für die Erforschung und Entwicklung hochwertiger Bauelemente, zum Beispiel von quaternären InGaAsP-Diodenlasern, eingesetzt werden.

NTT Photonics genießt seit vielen Jahren weltweit hohes Ansehen in der Entwicklung und Erforschung von Technologien zur Herstellung neuartiger photonischer Bauelemente der nächsten Generation für die Telekommunikation. Dazu gehören neben photonischen Bauteilen elektronische Komponenten, Module und Materialien. Mit neuen Technologien, etwa in der Entwicklung von Diodenlasern und deren Vermarktung, leistet das Unternehmen einen wichtigen Beitrag für künftige Anwendungen der Telekommunikation.