AIXTRON übernimmt Schlüsselrolle in der Entwicklung zweidimensionaler Nanostrukturen

Extrem leitfähig, transparent und biegsam: flexible Touchscreens für die Display-technologie – eine von vielen Anwendungen von “MoWSeS" (Bild: PolyIC)

Graphen könnte die Elektronik revolutionieren, wenn es den Sprung in Touch-Panel-Displays, Beleuchtungsanwendungen oder ultraschnelle Transistoren schafft. Wissenschaft und Industrie forschen bereits an weiteren 2D-Materialien, die ähnlich wie Graphen geschichtet sind – die sogenannten zweidimensionalen Dichalcogenide. Als einer der führenden Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiter- und Beleuchtungsindustrie investiert AIXTRON in die Weiterentwicklung von Anlagen, mit denen neben Graphen auch andere dieser hochmodernen 2D-Nanomaterialien hergestellt werden können.

In zahlreichen europäischen Forschungsprojekten, die sich um den Aufbau von Wertschöpfungsketten für neue Anwendungen der Nanoelektronik bemühen, um neue Produkte zur Marktreife zu bringen, agiert AIXTRON daher in zentraler Funktion.

„Ein Beispiel ist das von der Europäischen Union geförderte „Graphen-Flaggschiff“, in dem AIXTRON das Arbeitspaket „Produktion“ leitet. Ziel ist, Graphen für Anwendungen der drahtlosen Kommunikation, für Displays, Sensoren und Energiespeicher herzustellen", erläutert Graphen-Spezialist Dr. Ken Teo von AIXTRON. „Das Forschungsprojekt GRAFOLentwickelt Technologien für die Massenproduktion von waferbasiertem Graphen sowie Graphen auf flexiblen Folien für Transistoren und transparente, leitfähige Schichten. Dort bringen wir unsere große Erfahrung aus der skalierbaren Anlagentechnologie ein. Im Projekt MEM4WIN setzen wir auf die chargenbasierte Abscheidungstechnologie, um den Durchsatz bei der Graphenherstellung für sogenannte adaptive Fenster („smart windows“) zu verbessern."

„AIXTRON erweitert zurzeit sein technologisches Portfolio, um die Herstellung neuer 2D-Materialien wie Bornitrid oder Dichalcogenide zu ermöglichen“, ergänzt Professor Dr. Michael Heuken, AIXTRON Vice President Corporate Research & Development. „Beides sind anorganische Entsprechungen von Graphen – oder anders gesagt dünne, zweidimensionale Nanomaterialien, die auf den Metallen Molybdän und Wolfram basieren. Im Forschungsprojekt MoWSeS* tragen wir mit unserer Expertise in der komplexen Materialabscheidung dazu bei, dass diese hochwertigen 2D-Materialien für die Synthese mikroelektronischer Anwendungen wie Transistoren und Flash-Speicher entwickelt werden können."

„Wir stehen am Anfang einer äußerst spannenden Entwicklung", erklärt AIXTRONs Vorstandsvorsitzender Martin Goetzeler. „In den neuen Materialien sehen wir auch neue Geschäftsfelder für AIXTRON.“ Das Unternehmen sei optimal gerüstet, um seine Expertise für neue technologische Möglichkeiten erfolgreich einzusetzen. „Von jeher liegt unsere Kernkompetenz in hoher Materialqualität und größtmöglicher Prozessflexibilität für industrielle Anwendungen“, so der CEO. „Es freut mich daher sehr, dass unsere Technologie in diesen innovativen Projekten eine so wichtige Rolle spielt."

*MoWSeS, Mo = Molybdän/W =Wolfram/Se = Selen/S = Schwefel

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