Projekt TECHNOTUBES: AIXTRON demonstriert neue BM 300T-Anlage für Kohlenstoff-Nanoröhren

Prof. John Robertson, Projektkoordinator der Universität Cambridge: „Dieses außergewöhnliche Projekt hat erstklassige Partner aus Industrie und Forschung zusammen-gebracht, um Synergien zu schaffen und zu nutzen: von der Anlagenausrüstung über die Herstellung von Materialien bis hin zu konkreten Einsatzmöglichkeiten. Die wichtigsten Anwendungen aus dem Projekt umfassen elektrisch leitfähige Verbindungselemente, Wärmeleitmaterialien, Röntgenquellen für Medizin- und Sicherheitstechnik, Gasdetektoren, Biosensoren, Mikrofluidik und neuartige Energiespeicher. Wir sind der Europäischen Kommission sehr dankbar für die Bereitstellung der Finanzmittel, mit denen dieses Projekt überhaupt erst ermöglicht wurde.”

Dr. Ken Teo, Director Nanoinstruments, ergänzt: „Unsere Aufgabe bei AIXTRON war die Konstruktion einer Anlage, die sich für die Herstellung unterschiedlichster Kohlenstoff-Nanoröhrenstrukturen eignet und damit dem Anspruch unterschiedlicher Anwendungen  gerecht wird. Die Integration verschiedener Prozesse (single wall, multi-wall, straight vertical nanotubes) auf einer einzigen Plattform war eine Herausforderung. Mit Blick auf unsere Industriepartner mussten dabei Homogenität, Reproduzierbarkeit und ein hoher Automatisierungsgrad gegeben sein.“ Die BM 300T Anlage erreiche diese Zielvorgaben dank des hohen Produktionsdurchsatzes unter Einbeziehung thermischer- und Plasmaabscheidungstechnologie, der gezielten Aktivierung der Ausgangsmaterialien und eines neuartigen Waferbeladungs- und -heizsystems.