Universität Osaka produziert neuartige Biosensoren mit AIXTRON Anlage

Unter der Leitung von Professor Matsumoto und Assistant Professor Maehashi wird sich ein Forschungsteam aus der Abteilung für Halbleiterelektronik am Institute of Scientific and Industrial Research (ISIR) mit der Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren- (CNT) und Graphen-basierten Biosensoren befassen. Ziel ist es, Graphen-Feldeffekttransistoren mit organischen Chemikalien wie Antikörpern, Antigenen und Aptameren zu kombinieren und damit die elektrische Erkennung spezieller Proteine zu ermöglichen. Mit der neuen Anlage wollen die Forscher darüber hinaus CNTs für Mikro-Elektromechanische Systeme (MEMS) sowie für Energiespeicher herstellen. 

„Die Universität von Osaka hat sich für unsere Anlage entschieden, weil diese alle Anforderungen optimal erfüllt und darüber hinaus kosteneffizient ist", erklärt Dr. Ken Teo, Direktor Nanoinstruments bei AIXTRON. „Während wir die anspruchsvolle CVD-Technologie zur Verfügung stellen, können sich die Wissenschaftler voll und ganz auf die spezifischen Anforderungen der herzustellenden Bauelemente konzentrieren. Produktvorteile wie anwenderfreundliche Bedienung, hohe Flexibilität und bewährte Rezepte ermöglichen es unseren Kunden, unterschiedliche CNT- und Graphentypen zuverlässig und reproduzierbar zu entwickeln. Für die Herstellung von Bauelementen ist das ideal, denn Prozessstabilität ist dabei ein zentrales Kriterium." Die AIXTRON Technologie könne zudem sehr einfach auf 300 mm Wafer für die industrielle Herstellung übertragen werden – etwa durch den Einsatz der BM 300T-Anlage von AIXTRON.

Die BM Pro-Anlage verfügt über einen Hochleistungsheizer mit Aufheizraten bis zu 300°C/Minute, Temperaturkontrolle der Waferoberfläche, gepulste Plasmen sowie vollautomatischen  Rezeptablauf. Sie ist daher ideal geeignet, um die steigende Nachfrage nach einer immer größeren Bandbreite an Graphen- und CNT-basierten Materialien in gleichbleibend hoher Qualität zu decken. Die Anlage ist für die Multi-User-Anwendung konzipiert und verfügt über detaillierte Funktionen zur Datenaufzeichnung, Sicherheitsverriegelung sowie eine integrierte Reaktorkamera zur Prozessüberwachung.

*BM-Anlage = frühere Black Magic-Anlage

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®