AIXTRON nimmt Cluster zur Demonstration von Produktionsprozessen für die OLED-Herstellung in Betrieb

Anlage ermöglicht effiziente Prozesse unter industriellen Produktionsbedingungen

Die AIXTRON SE, ein führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, hat ein neues R&D-Cluster zur umfassenden Demonstration von Produktionsprozessen für die Herstellung organischer Halbleiter in Betrieb genommen. Damit können die verschiedenen Prozesse zur Abscheidung organischer Dünnfilme, die für die Herstellung von OLEDs und flexibler Elektronik benötigt werden, effizient und unter industriellen Produktionsbedingungen demonstriert werden.

Der in einem Reinraum bei AIXTRON installierte Cluster umfasst mehrere Prozessmodule zur Abscheidung organischer Materialien auf 200x200mm-Substraten („Gen1“). Diese Größe erlaubt es AIXTRON, potenziellen Kunden die Vorteile seiner Abscheidetechnologien auf Produktionsniveau zu erschwinglichen Kosten und mit überschaubarem Aufwand zu demonstrieren. Kern des Demonstrators sind drei OVPD-Module und ein PVPD™-Modul von AIXTRON, die in eine automatisierte Cluster-Umgebung eingebettet und um verschiedene Prozessmodule sowie die dazugehörige Infrastruktur ergänzt wurden.

Jürgen Kreis, Director Business Development bei AIXTRON und verantwortlich für den weiteren Ausbau des Bereiches Organische Halbleiter, erklärt: „Unser R&D-Cluster bietet Industriekunden und Forschungspartnern eine integrierte Umgebung zur umfassenden Demonstration der verschiedenen Prozesse unter Produktionsbedingungen. Die lückenlose Einbindung von Vor- und Nachbearbeitungsprozessen sowie die Möglichkeit zur Charakterisierung der hergestellten Bauelemente, erlaubt die schnelle und umfassende Demonstration der besonderen Vorteile unserer OVPD- und PVPD™-Technologien.“

Martin Goetzeler, Vorstandsvorsitzender von AIXTRON, sagt: „Wir messen organischen Halbleitern eine hohe strategische Bedeutung für AIXTRON zu. Insbesondere OLEDs bieten in Zukunft vielfältige Einsatzmöglichkeiten in Displays und in der allgemeinen Beleuchtung. Daher haben wir die Forschung und Entwicklung in diesem Bereich deutlich intensiviert und durch Investitionen wie das R&D-Cluster weiter vorangetrieben. Wir entsprechen damit einem breiten Bedürfnis nach verbesserten Test- und Demonstrationsmöglichkeiten, auch um unseren Kunden künftige Investitionsentscheidungen zu erleichtern. Ich bin mir sicher, dass unsere Produktionsanlagen für organische Halbleiter künftig eine Schlüsselrolle im Markt spielen werden.“

Die proprietäre OVPD®- und PVPD™-Prozesstechnologie von AIXTRON gestattet die Produktion sehr gleichförmiger organisher Dünnfilme mit hoher Materialeffizienz und hohen Abscheideraten, die zur Herstellung von OLEDs, organischer Elektronik und anderen Funktionselementen benötigt werden. Die effiziente und großflächige Produktion von organischen Dünnfilmen gilt als Schlüssel zur weiteren Marktdurchdringung von OLEDs.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®