Zhejiang University erforscht Nanoröhren und Graphen mit AIXTRON Anlage

Die chinesische Zhejiang University hat im zweiten Quartal 2012 eine 2-Zoll BM-Forschungsanlage von AIXTRON bestellt. Damit wird die Abteilung für Informationswissenschaften & Elektrotechnik der Universität die Entwicklung neuartiger Kohlenstoff-Nanoröhren und Graphen vorantreiben. Die Anlage wurde im vierten Quartal ausgeliefert.

Einer der führenden Wissenschaftler in diesem Projekt ist Professor Jiechao Lou. Er konzentrierte sich in seiner bisherigen Forschung auf Tunneleffekt-Drucksensoren auf der Basis von hexagonalen Bornitrid-Heterostrukturen. „Wir wollen unser Forschungsgebiet mit Hilfe der AIXTRON Technologie in den Bereich Graphen und CNT* ausdehnen", sagt er. „Die BM-Anlage ist für ihre hervorragende Prozess- und Materialreproduzierbarkeit bekannt.´" Mit den bisher eingesetzten manuellen Herstellungsverfahren habe die Universität zum Teil mehrere Tage benötigt, um die gewünschten Nanomaterialien herzustellen. „Mit der neuen Anlage können wir uns ganz auf das wissenschaftliche und elektrotechnische Potenzial dieser faszinierenden neuen Strukturen konzentrieren."

Die BM-Forschunganlage ist die optimale technologische Lösung für die Herstellung von Nanomaterialien der nächsten Generation. Eine wichtige Komponente ist der integrierte Hochleistungsheizer, der für schnelle Aufheizraten von 1000°C pro Minute sorgt und komplexe, reproduzierbare Prozessschritte bei verschiedenen Temperaturen ermöglicht. Dies beinhaltet die Temperaturbehandlung des Katalysatormaterials sowie Wachstums- und Temperschritte, die für die optimale Kontrolle der Materialstrukturen und -eigenschaften unverzichtbar sind.

Die Prozesssteuerung erfolgt vollautomatisch und ermöglicht so eine hervorragende Reproduzierbarkeit in aufeinander folgenden Läufen. Die Anlage kann sowohl für thermische CVD**- als auch für plasmagestützte Prozesse eingesetzt werden, daher sind alle denkbaren Varianten und Formen von Kohlenstoff-Nanoröhren/-fasern und Graphen umsetzbar. Weitere Anwendungsbereiche – neben dem Einsatz in Sensoren – sind Transistoren, Verbindungstechnik, Energiespeicher, Wärmemanagement, Elektronenquellen sowie der Bereich der Mikrofluidik.

*CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoff-Nanoröhren
**CVD, Chemical Vapor Deposition = Chemische Gasphasenabscheidung

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®