Forepi bestellt neue 19x4-Zoll CRIUS II-XL-Anlage von AIXTRON

Mit der CRIUS II-XL sollen blaue LEDs auf Indium-Gallium-Nitrid (InGaN)-Basis in Massenproduktion hergestellt werden. Ein AIXTRON Serviceteam wird die Anlage in Forepis moderner Produktionsstätte in Taiwan installieren und in Betrieb nehmen.

„Der Erwerb der 4-Zoll-fähigen Showerhead-Anlage symbolisiert einen technologischen Meilenstein für uns", so Forepi-Präsident Dr. Fen-Ren Chien. „Wir hatten zunächst die CRIUS II-L-Anlage für unsere nächste Expansionsstufe in Betracht gezogen. Als dann kürzlich die XL-Version eingeführt wurde, waren wir von der 19x4-Zoll-Konfiguration sehr beeindruckt." Aufgrund der ausgezeichneten langjährigen Geschäftsbeziehungen sei das Vertrauen in AIXTRONs Technologie und Service entsprechend hoch. Forepi werde daher in enger Zusammenarbeit mit dem deutschen Hersteller das Potenzial der Anlage ausschöpfen.

AIXTRON COO Dr. Bernd Schulte fügt hinzu: „Die CRIUS II-XL-Anlage bietet weltweit höchsten Durchsatz und maximale Produktivität. Damit haben wir den nächsten Entwicklungsschritt in unserer bewährten CRIUS-Serie vollzogen. Alle bestehenden Prozesse können äußerst effizient von der CRIUS II auf die CRIUS II-XL übertragen werden. Auch beim Wechsel auf die nächste Wafergröße muss lediglich der Suszeptor ausgetauscht werden – ohne weitere Anpassung von Hardware oder Prozessen. Für die Hersteller von InGaN-LEDs bedeutet das absolute Kostenkontrolle."

Forepi wurde im November 1999 gegründet – ursprünglich als klassischer Hersteller von LED-Wafern und -Chips auf InGaN-Basis. Heute vertreibt das Unternehmen ein breites LED-Spektrum, darunter blaue und grüne InGaN-LEDs sowie UV-Hochleistungs-LEDs. Absatzmärkte sind neben Taiwan auch Süd-Korea, Hong Kong, die USA und China.

Unsere eingetragenen Warenzeichen: AIXACT®, AIXTRON®, Atomic Level Solutions®, Close Coupled Showerhead®, CRIUS®, EXP®, EPISON®, Gas Foil Rotation®, Optacap™, OVPD®, Planetary Reactor®, PVPD®, STExS®, Trijet®